EM-30高分辨率臺式掃描電鏡打破了傳統(tǒng)臺式掃描電鏡采用BSD探測器成像的局限性，利用創(chuàng)新的雙聚光鏡成像技術(shù)，采用大型掃描電鏡成像原理，使用二次電子探測器作為基礎(chǔ)成像單元，從而可以獲得更高的分辨率（<5nm），是真正意義上的高分辨率臺式掃描電鏡。